美国SP3公司为赫瑞瓦特大学安装先进的金刚石沉积设备化学气相沉积金刚石应用新进展

• 来源期刊: 磨料磨具通讯
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石 沉积设备 化学气相沉积 SP3 美国 应用 安装 大学
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 页码范围: 31
• 页数: 1页
• 分类号: TN304.18

摘要

美国SP3金刚石技术公司（以下简称SP3公司）是一家全球领先的金刚石薄膜产品、生长设备以及服务供应商。在不久前销售出一套先进的650型热丝法CVD金刚石沉积设备之后，