微机电系统中的矩形通道内微气泡控制生长

• 作者: 张春权 张玉龙 杨朝初 毕勤成 董涛 谷丹丹
• 来源期刊: 化工学报
• 关键词: 微机电系统 微流体相变 微气泡生长 微小有限空间 矩形微通道
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 多相流
• 页码范围: 54-60
• 页数: 7页
• 分类号: TK124
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0438-1157.2007.01.009

摘要

采用微机电系统(MEMS)硅加工工艺,设计、加工出了6种不同规格的实验用微气泡控制生长MEMS器件;构建了MEMS器件中微气泡控制生长实验系统并完成了实验,讨论了热负荷、微加热元宽度、微通道截面参数、工质流速及物性参数等对微气泡生长的影响.结果表明:同等实验条件下,加热电压幅值越高,微气泡生长速率越快;加热脉冲宽度仅对微气泡形成后的进一步生长有影响;加热条件相同的前提下,微加热元宽度越大,气泡成核所需的时间越短、微气泡生长速率越快;微通道宽度一定且高宽比大于1的条件下,高宽比越小,后期微气泡生长速率越慢;微流体的流速越高,微气泡生长始点越晚、生长速率也越低.相同实验条件下,R113、FC-72、去离子水三者中,R113中微气泡生长始点最靠前、生长速率最快,去离子水中微气泡生长最靠后、生长速率最慢.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张春权	厦门大学萨本栋微机电研究中心	6	160	5.0	6.0
2	毕勤成	西安交通大学动力工程多相流国家重点实验室	113	630	13.0	19.0
3	董涛	厦门大学萨本栋微机电研究中心	12	117	6.0	10.0
5	杨朝初	西安交通大学动力工程多相流国家重点实验室	12	146	7.0	12.0
6	谷丹丹	厦门大学萨本栋微机电研究中心	6	29	3.0	5.0
9	张玉龙	厦门大学萨本栋微机电研究中心	7	42	4.0	6.0