由纳米棒和纳米叶组成的铁磁性的MnSb薄膜

• 作者: 吴金良 张兴旺 彭长涛 戴瑞烜 陈诺夫
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 铁磁性 MnSb 纳米棒和纳米叶 物理气相沉积
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 661-664
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.054
• 字数: 516字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.05.006

摘要

提供了一种利用物理蒸发沉积技术在单晶硅上生长纳米尺度的MnSb薄膜的方法.X射线衍射分析表明薄膜的主要成分是MnSb合金.场发射扫描电镜观察到薄膜是由纳米尺寸的棒状物和叶状物组成.纳米棒的平均直径为20nm,长度在几百纳米范围内.纳米叶的厚度大约为20nm,宽度为100nm左右.用可变梯度磁力计测量了薄膜的磁滞回线,结果显示薄膜有很强的几何各向异性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张兴旺	中国科学院半导体研究所材料重点实验室	30	153	8.0	10.0
2	陈诺夫	中国科学院半导体研究所材料重点实验室	33	154	6.0	11.0
6	吴金良	中国科学院半导体研究所材料重点实验室	8	14	2.0	3.0
10	戴瑞烜	中国科学院半导体研究所材料重点实验室	2	5	1.0	2.0
11	彭长涛	中国科学院半导体研究所材料重点实验室	4	19	2.0	4.0