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KLA-Tencor的新型高分辨率TeraScanHR将掩膜版检测带入45纳米及以上节点的生产
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摘要：
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一种新型的高分辨率双侧向测井方法
电阻率测井
高分辨率双侧向
电极系
分层能力
探测深度
井眼影响
海洋碳汇高分辨率检测技术综述和展望
海洋碳汇
碳中和
惰性溶解有机碳
微型生物
高分辨率检测技术
XMAC纵波时差高分辨率处理方法
声波测井
纵波
时差
高分辨率
共发射点
共接收子点
高分辨率感应测井仪
测井仪器
纵向分辨率
感应测井
围岩效应
趋肤效应
薄层
内容分析
关键词云
关键词热度
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引文网络
引文网络
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2007(0)
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研究主题发展历程
节点文献
掩膜
检测带
KLA-TENCOR
TeraScanHR
高分辨率
关键层
检测成本
领军
检测系统
副总裁
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体信息
主办单位：
中国半导体行业协会分立器件分会
中国电子科技集团公司第五十五研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
16开
出版地：
南京市1601信箱43分箱（南京市中山东
邮发代号：
创刊时间：
1990
语种：
chi
出版文献量（篇）
5953
总下载数（次）
11
总被引数（次）
664
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