CN200510019473.7 一种抛光大面积金刚石膜的方法和装置

• 来源期刊: 磨料磨具通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 大面积金刚石膜 电子回旋共振等离子体 装置 抛光 微波激励 离子成分 功率耦合 谐振加热
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 页码范围: 36
• 页数: 1页
• 分类号: TN248.22

摘要

本发明是一种抛光大面积金刚石膜的方法和装置。该方法是：先利用微波激励产生电子回旋共振等离子体，再利用离开回旋谐振加热将高频功率耦合到等离子体中的离子成分中，