CO2激光和等离子体清洗提高石英基片损伤阈值

• 作者: 向霞 吕海兵 唐灿 徐世珍 李珂 李绪平 祖小涛 蒋晓东 袁兆林 袁晓东 郑万国 郭袁俊
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 石英基片 硅油脂 激光清洗 等离子体清洗 激光损伤阈值
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 粒子束技术
• 页码范围: 1739-1743
• 页数: 5页
• 分类号: TN249|O532.2
• 字数: 4491字
• 语种: 中文

摘要

采用连续CO2激光和真空等离子体相结合的方法对石英基片进行清洗.通过光学显微图、水接触角、透过率和损伤阈值测量分别表征了CO2激光和等离子体对真空硅脂蒸发物污染过的石英基片的清洗效果.研究表明:对于真空硅脂蒸发物污染后的石英基片,可以先采用低能量的CO2激光进行大面积清洗,再用真空等离子体进行精细清洗.光学显微图像表明:清洗后的基片表面的油珠被清除干净;水滴接触角由63°下降到4°;在400 nm附近,基片透过率由92.3%上升到93.3%;损伤阈值由3.77 J/cm2上升到5.09 J/cm2.