新型MEMS微针设计及其力学性能

• 作者: 孙潇 朱军 李以贵 贾书海
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 微针 药物传输 有限元
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 113-116
• 页数: 4页
• 分类号: TN302
• 字数: 2747字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.01.024

摘要

描述了三种新型MEMS微针的结构设计及制备方法.针对微针的实际使用要求,对微针的固体力学性质及微通道内液体的流动情况进行了理论分析和数值模拟.结果表明,所设计的三种微针的强度可以保证安全地进行皮肤注射,且适于进行药剂的微量传输.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱军	上海交通大学微纳米科学技术研究院	52	663	14.0	25.0
2	贾书海	西安交通大学理学院光信息科学与技术系	42	262	9.0	14.0
3	李以贵	上海交通大学微纳米科学技术研究院	19	120	7.0	10.0
4	孙潇	西安交通大学理学院光信息科学与技术系	8	30	3.0	5.0