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4英寸
碳化硅
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竹节状
碳化硅晶须
吸波性能
碳化硅晶片的制备技术
碳化硅晶片
双重加热炉
碳化硅晶须
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 Nippon Steel碳化硅晶圆生产技术取得突破 4英寸晶圆量产在即
来源期刊 半导体信息 学科 经济
关键词 NIPPON Steel 晶圆生产 半导体制造商 硅晶圆 日本新日铁 能源效率 ELECTRONICS 温度控制 控制难度 其在
年,卷(期) 2007,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 23-23
页数 1页 分类号 F416.63
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研究主题发展历程
节点文献
NIPPON
Steel
晶圆生产
半导体制造商
硅晶圆
日本新日铁
能源效率
ELECTRONICS
温度控制
控制难度
其在
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体信息
双月刊
16开
南京市1601信箱43分箱(南京市中山东
1990
chi
出版文献量(篇)
5953
总下载数(次)
11
总被引数(次)
664
论文1v1指导