基于MEMS工艺的碳纳米管(碳纳米纤维)铜微异型触点

• 作者: 丁桂甫 吴惠箐 姚锦元 杨春生 汪红 王裕超
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 电接触 异型触点 MEMS 碳纳米管 碳纳米纤维
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 页码范围: 1542-1546
• 页数: 5页
• 分类号: TM503.5
• 字数: 4239字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2007.05.005

摘要

一类为保护MEMS微继电器、提高它们使用寿命,而设计生产的微异型触点.该类微异型触点利用MEMS工艺,对铜基碳纳米管及碳纳米纤维复合电镀层进行细微图形化加工而成.一系列测试表明,铜基碳纳米管及碳纳米纤维复合电镀层本身具有良好的电接触性能,而利用MEMS工艺表面细微图形化加工后的微异型触点,比未经图形化加工的复合电镀层及纯铜触点具有更好耐电弧磨损性能.