重碳掺杂p型GaAsSb的GSMBE生长及其特性

• 作者: 孙浩 徐安怀 朱福英 艾立鹍 齐鸣
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 异质结双极晶体管 InP GaAsSb 碳掺杂 气态源分子束外延
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1765-1768
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2
• 字数: 2726字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.11.018

摘要

以四溴化碳(CBr4)作为碳掺杂源,采用气态源分子束外延(GSMBE)技术生长了InP衬底上晶格匹配的重碳掺杂p型GaAsSb材料.通过改变CBr4压力,研究了掺杂浓度在(1～20)×1019cm-3范围内的掺杂特性,得到的最大掺杂浓度为2.025×1020cm-3,相应的空穴迁移率为20.4cm2/(V·s).研究了不同生长温度对掺碳GaAsSb外延层组分、晶格质量和表面粗糙度的影响,结果表明480℃是生长优良晶格质量的最优温度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	齐鸣	中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室	34	145	8.0	9.0
2	徐安怀	中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室	20	94	7.0	8.0
3	孙浩	中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室	29	72	4.0	6.0
7	艾立鹍	中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室	3	7	2.0	2.0