MOCVI法制备SiO2/SiO2复合材料

• 作者: 张立同 徐永东 成来飞 郑勇 陈照峰
• 来源期刊: 航空制造技术
• 学科: 航空航天
• 关键词: 复合材料 石英玻璃 MOCVI 制备条件
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 新工艺·新技术·新设备
• 页码范围: 92-95,99
• 页数: 5页
• 分类号: V2
• 字数: 3410字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-833X.2007.01.016

摘要

依据金属基化学气相渗透法(Metal Organic Chemical Vapor Infiltration,MOCVI)工艺理论基础,采用MOCVI法制备出SiO2/SiO2复合材料,并分析了载气流量、先驱体JH20温度和沉积温度对氧化硅基体渗透速率和SiO2/SiO2(石英玻璃)复合材料显微结构的影响.结果表明,优化条件为:JH20的温度为60℃,载气流量为500mL/min,氧气流量为15mL/min,沉积温度为600℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	成来飞	西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室	259	2656	22.0	40.0
2	张立同	西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室	248	2867	24.0	42.0
3	徐永东	西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室	131	1982	23.0	37.0
4	郑勇	西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室	16	244	7.0	15.0
5	陈照峰	西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室	17	310	9.0	17.0