MEMS热风速计流固耦合模拟

• 作者: 吴剑 张骅 沈广平 秦明 黄庆安
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 流固耦合 MEMS 热风速计 模拟 测量
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 页码范围: 2247-2249
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 2330字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2007.06.070

摘要

通过设置流-固耦合面和固-固耦合面,采用ANSYS软件对MEMS热风速计进行了有限元模拟,基本解决了热风速计有限元模拟中遇到的多物理场耦合问题通过对不同风速,不同风向情况下的风速计芯片的热分布进行了模拟和分析,得到了一些有助于芯片设计的结论.最后,为了验证模型的正确性,进行了实验测量.实验数据与模拟结果基本相符,误差在8%以内.