衬底温度和氮气分压对氮化锌薄膜的性能影响

• 作者: 付玉军 张军 李晖 谢二庆 邵乐喜
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氮化锌 薄膜 射频溅射 光电性质
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 1173-1178
• 页数: 6页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2113字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.08.002

摘要

采用射频磁控溅射法在不同衬底温度和不同氮气分压下在石英玻璃衬底上制备氮化锌薄膜. 利用XRD和喇曼散射仪分析了样品的晶体结构和组成. 结果表明当氮气分压为1/2时可以生成多晶单一相的氮化锌薄膜. 利用霍尔效应和光学透过谱测量了样品的电学和光学性质. 结果表明衬底温度对样品的电学和光学性质有很大的影响. 衬底温度从100℃上升到300℃时,样品的电阻率从0.49降低到0.023Ω·cm. 电子浓度从2.7×1016升高到8.2×1019cm-3. 在衬底温度为200℃,氮气分压为1/2时,样品的光学带隙为1.23eV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢二庆	兰州大学物理科学与技术学院	84	371	11.0	14.0
2	张军	兰州大学物理科学与技术学院	65	414	11.0	18.0
6	邵乐喜	湛江师范学院物理科学与技术学院	22	106	6.0	9.0
7	李晖	兰州大学物理科学与技术学院	12	46	4.0	6.0
8	付玉军	兰州大学物理科学与技术学院	8	51	4.0	7.0