一种硅纳米梁负载-偏转特性的多尺度模型

• 作者: 于虹 陆清茹 鲍芳 黄庆安
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳机电系统 双端固支梁 多尺度 弯曲
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1979-1982
• 页数: 4页
• 分类号: O484.2
• 字数: 2853字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.12.024

摘要

根据能量法,提出了一种用于分析硅纳米梁静态弯曲的多尺度模型.与传统的连续介质模型相比,该模型考虑了梁厚度方向进入纳米尺度所带来的物理特性,因此,可以适用于纳米尺寸到宏观尺寸的硅梁.计算结果表明,当梁的尺寸达到纳米量级后表面原子的弛豫效应对梁的弯曲也有很大的影响.将该模型分析结果与连续介质模型进行了比较,在宏观尺寸下两种模型趋于一致.