溶胶-凝胶法制备c轴取向生长ZnO薄膜

• 作者: 张萌 肖宗湖
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 溶胶-凝胶法 旋转涂覆技术 c轴取向
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 2015-2017,2020
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 3219字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2007.12.027

摘要

采用sol-gel法,在普通载玻片上使用旋转涂覆技术生长了具有c轴择优取向生长的ZnO薄膜.采用热分析、XRD、SEM等手段对薄膜样品进行了表征.热分析结果表明,二水醋酸锌-乙醇胺-乙二醇甲醚体系sol-gel的热分解过程与纯二水合乙酸锌的分解过程大相径庭.ZnO薄膜的sol-gel分解趋于在较窄的温度范围内一步完成.样品在XRD图谱中表现出明显的c轴择优取向.此外,SEM照片也表明:ZnO薄膜样品中间区域和边缘区域的表面形貌相差甚远.探讨了预热处理温度、退火温度等工艺条件对ZnO薄膜的结构性能的影响,最佳的预热处理温度被认为在ZnO相完全生成温度附近.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张萌	南昌大学材料科学与工程学院	69	569	12.0	20.0
2	肖宗湖	南昌大学材料科学与工程学院	6	73	4.0	6.0