一种新型结构的静电感应晶体管

• 作者: 刘肃 吴蓉 唐莹 常鹏 李思渊
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 静电感应晶体管 深槽结构 寄生效应 深槽腐蚀
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 918-922
• 页数: 5页
• 分类号: TN386.6
• 字数: 2138字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.06.020

摘要

提出了一种新型结构的静电感应器件,设计了一道环绕的深槽,用以切断寄生效应.静电感应器件的寄生效应会导致器件性能的劣化甚至失效,文中提出了寄生效应的模型,并用PSPICE进行了仿真模拟,数值模拟结果和实验结果一致.实验表明这种深槽结构能够有效截断寄生路径,消除寄生电流的影响,优化器件性能.同时,文章详细描述了这种器件的设计和制造工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	常鹏	兰州大学物理科学与技术学院微电子学研究所	39	295	10.0	16.0
2	李思渊	兰州大学物理科学与技术学院微电子学研究所	25	113	7.0	9.0
3	吴蓉	兰州交通大学电子与信息工程学院电子科学与技术系	31	88	6.0	7.0
4	刘肃	兰州大学物理科学与技术学院微电子学研究所	68	261	9.0	11.0
5	唐莹	兰州大学物理科学与技术学院微电子学研究所	6	56	4.0	6.0