微电容加速度计系统的设计

• 作者: 苏伟 解磊 陈泉根
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 交通运输
• 关键词: 加速度计 微机电系统 仿真
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 75-77
• 页数: 3页
• 分类号: U666.122
• 字数: 2422字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2007.11.024

摘要

为了在总体上把握硅微加速度计的设计,建立了叉指式硅微加速度计的机械模型,研究了全差分二阶∑-△ADC接口检测电路提取加速度信号,优化了开关电容电路来检测微小电容变化量,运用微机电专用设计软件CoventorWare对系统的机电混合模型进行仿真,并给出数字和模拟的分析结果,为加速度计系统的机械部分和电路部分的设计提供整体的更接近实际的设计参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏伟	中国工程物理研究院电子工程研究所	92	541	12.0	16.0
2	陈泉根	中国工程物理研究院电子工程研究所	18	71	5.0	7.0
3	解磊	中国工程物理研究院电子工程研究所	3	11	2.0	3.0