多重分形谱研究溶胶-凝胶SiO2疏水减反膜的激光预处理作用

• 作者: 吕海滨 吴东 孙予罕 张磊 徐耀 李绪平 梁丽萍 蒋晓东 魏晓峰
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: SiO2疏水减反膜 激光预处理 多重分形谱 激光损伤阈值
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 总论
• 页码范围: 3833-3838
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 4083字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.07.033

摘要

采用溶胶-凝胶提拉技术制备了SiO2疏水减反膜.使用Nd:YAG激光(波长为1064 nm,脉宽为7.5ns)采用"R on 1"方式对所得膜层进行了激光预处理.在预处理前后采用"1 on 1"方式考察了薄膜的激光损伤阈值的变化,使用原子力显微镜(AFM)观察了薄膜的表面形貌的变化,并使用多重分形谱(MFS)方法分析了薄膜分形结构的变化.结果 表明经过激光预处理后薄膜的抗激光损伤阈值有了明显提高,均方根表面粗糙度(Rq)稍有减小,膜面变平整,多重分形谱宽度收缩,分形区间的分布均匀性改善.这说明经过激光预处理后薄膜表面微结构趋向规整,使之能够承受更强的激光的辐照.同时也说明借助多重分形谱可以获得更多薄膜表面结构变化的信息,多重分形谱是探索强激光对光学薄膜辐照作用机理的一个十分有用的方法.