微机电系统基于端口的多领域建模和仿真

• 作者: 于涛 曾庆良
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 建模 仿真 多领域
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 67-71
• 页数: 5页
• 分类号: TP3
• 字数: 3628字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2007.01.018

摘要

微机电系统是典型的多领域复杂系统,需要一种能够将复杂组件和子系统紧密集成跨领域的通用建模和仿真方法.介绍了微机电系统设计和仿真的现状,给出了基于端口的多领域建模概念,分析了其建模基础和基于VHDL-AMS、键合图和线图的实现方法,并给出了组件层次仿真的实现方法.分析表明,基于端口的建模实现了多领域物理现象的统一描述,并通过界面与实现的分离,实现了自上而下的层次化建模,可用一种仿真语言和仿真器实现整个MEMS系统的建模与仿真.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾庆良	山东科技大学机电学院	119	759	16.0	21.0
2	于涛	山东科技大学机电学院	75	418	10.0	15.0