MOCVD制备AlGaN基多波段布拉格反射镜

• 作者: 刘斌 周建军 姬小利 张荣 李亮 江若琏 谢自力 郑建国 郑有炓 韩平 龚海梅
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金属有机物化学气相淀积 布拉格反射镜 反射率
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 页码范围: 492-495
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2
• 字数: 2232字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.z1.126

摘要

利用金属有机物化学气相淀积系统(MOCVD)制备了AlGaN基多波段布拉格反射镜.多个布拉格反射镜的工作波长覆盖从蓝绿光至紫外范围,分别由多周期的双层结构GaN/AlN,Al0.3Ga0.7N/AlN,Al0.5Ga0.5N/AlN组成.这些多周期光学结构都生长在GaN支撑层上.AFM研究发现,这些布拉格反射镜具有平整光滑的表面,其粗糙度小于lnm;X射线衍射谱和截面透射电镜图片表明它们具有完整的周期重复性和清晰的界面.利用可见-紫外光谱仪研究这些布拉格反射镜的反射谱,发现反射率和半峰宽不仅与周期数有关也与两种材料的折射率系数差有关.