光子晶体垂直腔型表面发射和接收光电子器件

• 作者: 刘发民 宋倩 杜伟 王春霞 胡海洋 许兴胜 陈弘达 鲁琳
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光子晶体 垂直腔面发射激光器 光子面阵集成 谐振腔增强型光电探测器
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 页码范围: 509-512
• 页数: 4页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 1779字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.z1.130

摘要

介绍了制作光子晶体垂直腔面发射激光器实验研究的主要内容,包括材料的光谱测试分析、氧化工艺以及制作光子晶体等,成功制作了波长在980nm附近的光子晶体垂直腔面发射激光器.在此基础上,采用高精度湿法腐蚀和感应耦合等离子体干法刻蚀技术,研究制作了基于垂直腔面发射激光器外延材料的光子晶体谐振腔增强型探测器.