P型SiC欧姆接触高温可靠性的研究进展

• 作者: 刘肃 姜岩峰 赵晨光
• 来源期刊: 电力电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电力半导体器件 碳化硅 可靠性/欧姆接触 高温可靠性
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 器件
• 页码范围: 99-101
• 页数: 3页
• 分类号: TN31/387
• 字数: 2953字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-100X.2007.06.036

摘要

介绍了P型碳化硅(SiC)欧姆接触在高温应用时的可靠性问题.首先,对在P型SiC上实现欧姆接触的工艺方法进行了综述,讨论了如何克服费米钉扎等关键问题;其次,在了解如何实现欧姆接触工艺的基础上,研究了影响该材料高温稳定工作的原因.从材料、工艺两方面总结了如何提高接触可靠性的方法,并尝试性提出了改进思路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜岩峰		44	285	7.0	15.0
2	刘肃		68	261	9.0	11.0
3	赵晨光		1	5	1.0	1.0