纳秒级脉冲激光诱导Zn掺杂过程中GaN/Al2O3 材料的温度分布及热形变解析分析

• 作者: 陈朝 黄生荣
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光诱导 GaN/Al2O3 温度分布 热形变
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: 唯象论的经典领域
• 页码范围: 4596-4601
• 页数: 6页
• 分类号: TM2
• 字数: 3700字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.08.043

摘要

分析了纳秒级脉冲激光作用下GaN的激光诱导Zn的掺杂过程.利用简化的一维模型,给出一种比较直观的脉冲激光辐照下GaN/Al2O3材料温度分布的解析形式,得到了GaN材料表面温度与激光辐照时间的关系以及材料形变与深度的关系.在激光脉冲作用时,GaN材料表面的温度与辐照时间的平方根成正比.脉冲过后,材料温度分布梯度和热形变分布随深度发生变化,接近表面的温度梯度最大,热形变量也最大.而在连续脉冲作用时表面的温度呈锯齿状不断升高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈朝	厦门大学物理系	63	420	11.0	18.0
2	黄生荣	厦门大学物理系	8	25	3.0	5.0