基于介观压阻效应的硅微加速度计研究

• 作者: 吴瑞 温廷敦
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 加速度计 灵敏度 介观压阻效应 共振隧穿
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1771-1774
• 页数: 4页
• 分类号: TN306
• 字数: 3050字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2007.08.019

摘要

为了突破传统机电转换局限,提高加速度计灵敏度,提出以介观压阻效应为工作原理制作高灵敏度的硅微加速度计,基于这种原理设计并制备了GaAs基加速度计,通过理论分析计算与试验测试,得出该结构在0.1 gn输入下的输出,并对介观压阻灵敏度和压阻灵敏度的量级作出了比较,验证了采用介观压阻效应制作高灵敏度传感器的可行性,为此类加速度计的设计提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温廷敦	中北大学微米纳米技术研究中心	65	169	7.0	10.0
2	吴瑞	中北大学微米纳米技术研究中心	7	39	3.0	6.0