高可靠性16×16 SOI热光开关阵列

• 作者: 余金中 李智勇 李运涛 陈少武
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 热光开关阵列 控制和驱动电路 可靠性
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 页码范围: 513-515
• 页数: 3页
• 分类号: TN491
• 字数: 1826字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.z1.131

摘要

在分析加热器对热光开关阵列可靠性影响的基础上,提出了一种新的热光开关阵列控制和驱动电路.分析表明,在假设加热器失效率为5%的情况下,新控制和驱动电路可以使16×16 SOI热光开关阵列的可靠性从34.99%提高到92.30%.同时,采用引入控制信号预处理模式,使封装后的热光开关阵列控制端口数从34个减少到10个.在采用新的控制和驱动电路基础上,研制出高可靠性的16X16 SOI热光开关阵列.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余金中	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	110	703	13.0	21.0
2	陈少武	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	39	387	9.0	19.0
3	李智勇	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	11	71	4.0	8.0
4	李运涛	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	9	24	3.0	4.0