基极微空气桥和发射极空气桥的InP/InGaAs HBT

• 作者: 于进勇 刘新宇 徐安怀 王润梅 苏树兵 齐鸣
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: InP 异质结双极型晶体管 微空气桥 空气桥 自对准
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 154-158
• 页数: 5页
• 分类号: TN385
• 字数: 1185字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.02.003

摘要

报道了具有基极微空气桥和发射极空气桥结构的InP单异质结双极型晶体管(SHBT).由于基极微空气桥和发射极空气桥结构有效地减小了寄生,发射极尺寸为2 μm×12.5 μm的InP HBT的截止频率达到了178GHz.这种器件对高速低功耗的应用非常关键,例如OEIC接收机以及模拟、数字转换器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘新宇	中国科学院微电子研究所	141	717	13.0	18.0
2	齐鸣	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	34	145	8.0	9.0
3	徐安怀	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	20	94	7.0	8.0
4	王润梅	中国科学院微电子研究所	15	78	6.0	8.0
5	于进勇	中国科学院微电子研究所	9	91	8.0	9.0
6	苏树兵	中国科学院微电子研究所	6	59	5.0	6.0