CAD/CAE系统中静电性能和机电性能仿真

• 作者: 张文祥 陈爱戎
• 来源期刊: 计算机仿真
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 静电性能 机电性能
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 制造业仿真
• 页码范围: 280-282,346
• 页数: 4页
• 分类号: TP319
• 字数: 2975字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-9348.2007.07.072

摘要

在常规机械中很少考虑的微小静电力会对MEMS的电路产生一定影响,同时MEMS的元件在静电力作用下会发生变形,进而使得MEMS的几何结构和电容等产生变化,加之目前MEMS试制成本较高,因此,必须对整个系统的静电性能和机电性能进行分析.利用边界元素法,对MEMS各元件进行静电性能分析;采用有限元分析软件包对MEMS作机电性能分析,探讨了驱动电压与位移的关系、位移变化与电容的关系等.通过仿真测试发现,可提高设计质量,降低成本,缩短研制周期.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张文祥	浙江万里学院智能控制技术研究所	32	190	9.0	13.0
2	陈爱戎	浙江万里学院智能控制技术研究所	12	23	3.0	3.0