国内PVD技术应用与研究现状

• 作者: 张欣苑 李祝 梁红樱 王辉 赵海波
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: PVD 超硬薄膜 纳米 制备技术
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 专题综述
• 页码范围: 33-36
• 页数: 4页
• 分类号: TG7
• 字数: 4848字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2007.06.005

摘要

在总结目前国内商业应用刀具PVD技术的发展状况的基础上,介绍了国内纳米超硬薄膜的研究现状及特点:分析了国内当前PVD技术应用与研究所存在的问题,提出了研究、开发的新思路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王辉		52	273	9.0	15.0
2	梁红樱		9	80	3.0	8.0
3	赵海波		26	175	7.0	12.0
4	张欣苑		8	101	5.0	8.0
5	李祝		9	98	5.0	9.0