半导体行业挥发性有机物(VOCs)排放特征研究

• 作者: 伏晴艳 修光利 吴迓名 徐捷 李炎 王歆文 魏海萍
• 来源期刊: 环境科学与管理
• 学科: 社会科学
• 关键词: 挥发性有机物(VOCs) 半导体制造 排放速率
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 环境研究
• 页码范围: 37-41,44
• 页数: 6页
• 分类号: C515
• 字数: 4864字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1212.2007.10.012

摘要

采用工艺调查与现场监测相结合的方法,研究了半导体行业废气排放中VOCs的种类和排放水平.结果表明,共检测出26种有机物,其中以异丙醇排放量最大.采用排放系数法估算了该行业VOCs2004年的排放量和2010年的预期排放量,并提出了加强和完善排放标准控制以及清洁生产等控制措施的建议.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	伏晴艳		48	903	18.0	29.0
2	魏海萍		23	390	11.0	19.0
3	徐捷		16	131	7.0	11.0
4	修光利		64	398	12.0	18.0
5	王歆文		3	58	3.0	3.0
6	吴迓名		12	252	9.0	12.0
7	李炎		4	53	2.0	4.0