物体亚表面的纳米探测研究

• 作者: 叶虎年 张思团
• 来源期刊: 华中科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米探测 光学相干层析 微缺陷 光外差
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 页码范围: 77-79
• 页数: 3页
• 分类号: O443
• 字数: 2850字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2007.10.023

摘要

利用光纤构建了一套光学相干层析系统(OCT),并在光纤末端安装自聚焦透镜,采用宽光源对抛光物体亚表面微缺陷的存在进行了无损在体层析检测.利用光外差技术实现对样品的高分辨率检测.提出利用光学相干层析系统检测抛光物体亚表面微缺陷的方法,同时本实验系统的分辨率小于600 nm.系统中的光源相干长度为3.5 μm,光程为往返式,因此本系统的相干长度为1.7 μm.实验证明本系统在探测抛光物体亚表面的微缺陷中,可以清晰地识别3～4个微缺陷点区域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶虎年	华中科技大学机械科学与工程学院	37	365	11.0	18.0
2	张思团	华中科技大学机械科学与工程学院	6	10	2.0	3.0