大幅减小刻蚀误差影响的高温超导滤波器研制

• 作者: 刘娟秀 宁俊松 张天良 罗正祥 羊恺 补世荣
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 高温超导 滤波器 谐振器 刻蚀容差
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 页码范围: 846-848
• 页数: 3页
• 分类号: TP316
• 字数: 1985字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2007.03.030

摘要

研制了一种具有良好刻蚀容差性能的类发夹型高温超导滤波器,在同等刻蚀条件下,达得更高的性能指标.在给出计算与设计过程的基础上,对出现大幅度欠腐蚀50 μm的类发夹型滤波器进行实际测试,其中心频率只偏移约30 MHz,并对该结构与直线型结构的刻蚀容差性能进行深入的比较分析,对类发夹型谐振器,每欠腐蚀2 μm,谐振频率比正常腐蚀偏低1 MHz,约为直线型谐振器的1/4,实验测试结果与之较好吻合.该研究结果,大幅降低了滤波器制作对刻蚀技术精度的依赖性,具有广泛的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗正祥	电子科技大学电子工程学院微波中心	74	751	14.0	24.0
2	羊恺	电子科技大学电子工程学院微波中心	65	331	9.0	14.0
3	刘娟秀	电子科技大学电子工程学院微波中心	49	264	8.0	13.0
4	补世荣	电子科技大学电子工程学院微波中心	39	184	8.0	12.0
5	张天良	电子科技大学电子工程学院微波中心	19	71	6.0	7.0
6	宁俊松	电子科技大学电子工程学院微波中心	18	96	5.0	9.0