抗真空有机物污染增透膜特性分析

• 作者: 吕海兵 晏良宏 江波 蒋晓东 袁晓东
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 抗真空有机物污染 溶胶-凝胶 二氧化硅 增透膜 氨水
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 767-770
• 页数: 4页
• 分类号: TN24
• 字数: 2655字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶法,结合氨水后处理工艺制备了抗真空有机物污染的二氧化硅增透膜.该膜峰值透光率为99.8%,在有机污染的真空系统中(10-3 Pa)保持168 h,透光率曲线变化微小,而同样条件下常规二氧化硅增透膜的峰值透光率下降至95.5%.并采用分光光度计、红外光谱、扫描探针显微镜、静滴接触角测量仪、椭偏仪等测试手段分析了薄膜的特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	江波	四川大学化学学院	71	674	13.0	22.0
2	袁晓东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	114	624	13.0	17.0
3	吕海兵	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	49	310	9.0	14.0
4	蒋晓东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	47	476	14.0	19.0
5	晏良宏	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	17	122	7.0	10.0