直拉硅单晶中原生氧沉淀的透射电镜研究

• 作者: 徐进 李福龙 杨德仁
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 化学
• 关键词: 直拉硅 透射电镜 氧沉淀
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 4113-4116
• 页数: 4页
• 分类号: O6
• 字数: 3194字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.07.078

摘要

利用透射电镜对掺氮(NCZ)和普通(CZ)直拉硅单晶中的原生氧沉淀进行研究.研究表明,在NCZ样品中,有高密度的粒径为5 nm的氧沉淀生成,而在CZ样品中,没有观察到这种氧沉淀.初步认为,这种细小的氧沉淀是以650℃低温下形成的N-O复合体为核心在随后的冷却过程中形成.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨德仁	浙江大学硅材料国家重点实验室	180	1513	20.0	31.0
2	徐进	厦门大学化学化工学院材料科学与工程系	9	45	3.0	6.0
3	李福龙	厦门大学化学化工学院材料科学与工程系	2	5	2.0	2.0