一种柔性三维力触觉传感器阵列的实现方法

• 作者: 倪林 单建华 吕晓庆 孔德义 孙磊 孟庆虎 张正勇 梅涛
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS技术 柔性三维力触觉传感器阵列 倒装焊技术 多路信号选通
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 2382-2385
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 3770字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2007.11.006

摘要

介绍了一种可安装在曲面上,对三维力进行检测的柔性三维力触觉传感器阵列的实现方法.首先采用MEMS技术制备三维力触觉传感器阵列,再将多个三维力触觉传感器单元分别通过倒装焊技术集成在已加工好的柔性电路板基底上,实现了传感器与信号处理电路的互连和传感器阵列(4×4)的柔性化.采用信号选通的多路信号采集方法简化了传感器阵列的信号处理电路.测试结果表明,柔性触觉传感器阵列可弯曲变形90°以上,检测三维力的分辨率达到0.1 N.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	倪林	中国科学院合肥智能机械研究所	48	408	13.0	18.0
2	张正勇	中国科学院合肥智能机械研究所	23	241	7.0	15.0
3	梅涛	中国科学院合肥智能机械研究所	75	1218	19.0	31.0
4	吕晓庆	中国科学院合肥智能机械研究所	3	37	2.0	3.0
5	孙磊	中国科学院合肥智能机械研究所	29	811	13.0	28.0
6	孟庆虎	中国科学院合肥智能机械研究所	10	151	7.0	10.0
7	孔德义	中国科学院合肥智能机械研究所	32	283	7.0	16.0
8	单建华	中国科学院合肥智能机械研究所	2	30	2.0	2.0