含氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜的研究:(Ⅲ)疏水性能分析

• 作者: 徐慧 李燕峰 王焕友 肖剑荣 邓超生
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 化学
• 关键词: 氟化类金刚石膜 疏水性 接触角
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 2998-3003
• 页数: 6页
• 分类号: O6
• 字数: 4266字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.05.089

摘要

不同沉积条件下,在单晶硅基底上沉积了含氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜,用静滴接触角/表面张力测量仪测量了水与FN-DLC膜表面的接触角.用X射线光电子能谱、Rsman光谱和傅里叶变换吸收红外光谱(FTIR)分析了薄膜的组分和结构.用原子力显微镜观测了薄膜的表面形貌.结果表明,FN-DLC薄膜疏水性能主要取决于薄膜表面的化学结构、薄膜表面极化强度的强弱、以及薄膜的表面粗糙度的大小.sp3/sp2的比值减小,CF2基团含量增加,薄膜粗糙度增加,接触角增大;反之,则接触角减小.在工艺上,沉积温度和功率的减小,气体流量比r(r=CF4/[CF4+CH4])的增加;都会使水的浸润性变差;接触角增大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐慧	中南大学物理科学与技术学院	100	517	10.0	17.0
2	李燕峰	中南大学物理科学与技术学院	22	198	6.0	13.0
3	邓超生	中南大学材料科学与工程学院	7	81	6.0	7.0
4	肖剑荣	中南大学物理科学与技术学院	23	103	6.0	8.0
8	王焕友	中南大学材料科学与工程学院	10	84	6.0	9.0