高速钢表面镀覆DLC膜的结构及其摩擦特性研究

• 作者: 徐均琪 曾群锋 杭凌侠 董光能 谢友柏
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石膜 非平衡磁控溅射 摩擦特性
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 25-28
• 页数: 4页
• 分类号: TB43|TH117.1
• 字数: 3249字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2007.10.007

摘要

以高纯石墨作靶材、N2/Ar为工作气体,采用非平衡磁控溅射技术在高速钢上制备了光滑、致密、均匀的掺氮DLC膜.用XPS、Raman光谱仪表征了DLC膜的结构,并在球-盘摩擦试验机上研究了其摩擦特性.结果表明:工作气体中的N2比例对DLC膜结构及其摩擦特性影响较大,随着N2比例的增加薄膜中sp3的比例减少,而sp2和碳氮键的比例增加;随着N2比例的增加,薄膜摩擦因数先减后增,这与薄膜中sp3 比例下降和sp2比例增加而导致薄膜的硬度以及内应力变化有关.就本试验而言,工作气体中N2比例不应高于20%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董光能	西安交通大学现代设计及转子轴承系统教育部重点实验室	90	630	13.0	19.0
2	曾群锋	西安交通大学现代设计及转子轴承系统教育部重点实验室	34	192	8.0	12.0
3	谢友柏	西安交通大学现代设计及转子轴承系统教育部重点实验室	220	4260	36.0	55.0
4	徐均琪	西安工业大学光电工程学院	87	611	13.0	20.0
5	杭凌侠	西安工业大学光电工程学院	93	777	15.0	22.0