硅基光纤温度传感器研究

• 作者: 李明 王婷婷 王鸣 葛益娴
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 传感器技术 温度传感器 单晶硅膜 热光效应
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1017-1020
• 页数: 4页
• 分类号: TN247
• 字数: 2571字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2007.05.015

摘要

基于单晶硅折射率随温度变化的热光效应,研究了一种硅基双波长光纤温度传感器.理论分析了单晶硅膜温度传感的机理,通过计算得到了硅膜厚度与温度测量范围之间的关系.运用双波长信号处理方法对传感器反射光强度进行分析并解调出所测量的温度.实验结果表明,在测温范围25～45℃内,当传感器测温波长为1 534.3 nm、1 554.3 nm时,该传感器对温度的响应具有良好的线性,其线性拟合度达0.989 8.该温度传感器的研究对设计制作温度补偿型的硅基压力或其它物理量的测量传感器具有一定的参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王婷婷	南京师范大学物理科学与技术学院光电技术省重点实验室	20	91	6.0	9.0
2	王鸣	南京师范大学物理科学与技术学院光电技术省重点实验室	91	636	14.0	20.0
3	李明	南京师范大学物理科学与技术学院光电技术省重点实验室	22	258	9.0	16.0
4	葛益娴	南京师范大学物理科学与技术学院光电技术省重点实验室	7	62	4.0	7.0