分布式电导率在线测试分析系统

• 作者: 孙以材 张效玮 林波 贾科进
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 水电导率 CAN总线 单片机C8051F040 电容效应补偿
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 页码范围: 1038-1041
• 页数: 4页
• 分类号: TH832
• 字数: 2873字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2007.03.082

摘要

介绍了一种应用于半导体清洗技术的分布式电导率在线测试分析系统,该系统基于CAN总线传输网络,真正实现了一个全数字化的,双向的、多结点的通信链接,系统是具有测量、控制、执行和过程诊断的综合控制网络,并可方便地扩展底层检测设备.还提出了一种值得探讨的测量电导率的新方法,该方法利用单片机C8051F040内部的比较器和捕捉计数器实现,大大简化了硬件电路设计,能实现自动换档,温度自动补偿,电导率超限报警等功能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙以材	河北工业大学微电子所	117	1247	18.0	31.0
2	贾科进	河北工业大学微电子所	24	134	6.0	10.0
3	张效玮	河北工业大学微电子所	8	48	5.0	6.0
4	林波	河北工业大学微电子所	4	36	3.0	4.0