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摘要:
采用改进的电压和电流测试方法对衬底电极外加不同电压Vs的射频等离子体中的阻抗和功率消耗进行了测试分析.结果表明:在射频电极施加恒定的电压Vel时,随衬底电极外加电压Vs的增加,辉光的电流在增加,结果导致阻抗在减小;另外,通过计算分析发现:仅有一小部分功率用于辉光,大部分功率消耗在匹配器和电缆上.通过对等离子体电学特性的综合测试分析也说明:在保证有足够多的硅烷时,衬底电极外加电压Vs增加时将会提高薄膜的沉积速率.
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文献信息
篇名 硅薄膜沉积中等离子体辉光功率和阻抗的测试分析
来源期刊 物理学报 学科 物理学
关键词 等离子体 辉光功率 阻抗 诊断
年,卷(期) 2007,(9) 所属期刊栏目 流体、等离子体和放电
研究方向 页码范围 5309-5313
页数 5页 分类号 O53
字数 2886字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.09.053
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研究主题发展历程
节点文献
等离子体
辉光功率
阻抗
诊断
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
物理学报
半月刊
1000-3290
11-1958/O4
大16开
北京603信箱
2-425
1933
chi
出版文献量(篇)
23474
总下载数(次)
35
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
国家重点基础研究发展计划(973计划)
英文译名:National Basic Research Program of China
官方网址:http://www.973.gov.cn/
项目类型:
学科类型:农业
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