基于Si-NPA的BaTiO3薄膜的电容湿敏性能研究

• 作者: 冯春岳 姜卫粉 李新建 李隆玉 肖顺华 董永芬
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 湿度传感器 硅纳米孔柱阵列(Si-NPA) BaTiO3 饱和盐水溶液
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 2558-2562
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 4354字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2007.12.006

摘要

采用溶胶-凝胶和旋涂技术制备了基于Si-NPA的BaTiO3薄膜(BaTiO3/Si-NPA).场发射扫描电镜和X射线衍射实验表明,钙钛矿结构BaTiO3薄膜很好地覆盖了Si-NPA表面.通过蒸镀双面梳状电极,制作了电容型BaTiO3/Si-NPA湿敏元件并对其湿敏性能进行了测试.结果表明,室温下湿敏元件在11%～95%RH范围内具有很高的灵敏度和较快的响应速度,且电容值的对数对湿度呈现出很好的线性.虽然该薄膜湿敏元件在不同湿度下均存在温度漂移,但分析表明这种漂移有可能通过电极设计或信号补偿加以解决.