模块化组合设备的晶圆加工过程建模研究

• 作者: 于兆勤 伍乃骐 苏平
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 模块化组合设备 晶圆加工 建模 着色时间Petri网
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 制造系统
• 页码范围: 1307-1311
• 页数: 5页
• 分类号: TH166
• 字数: 4832字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2007.11.012

摘要

晶圆加工过程中使用的模块化组合设备具有可重构性,设备配置的复杂程度由晶圆加工工艺方案决定,针对这一特点,研究了晶圆加工系统的Petri网建模问题.对晶圆加工模块化组合设备的加工流程进行了分析,给出了描述晶圆加工过程的时间Petri网模型.为避免Petri网模型随着设备复杂程度的增加而迅速膨胀,通过对系统运行特点的分析,建立了着色时间Petri网模型,网中节点数为常数值,与设备的复杂程度无关.从满足晶圆加工时间约束的角度,给出了带有时序控制器的着色时间Petri网模型,该模型有助于研究复杂制造系统的动态行为和生产过程控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于兆勤		86	785	14.0	25.0
2	伍乃骐		77	815	15.0	25.0
3	苏平		23	314	9.0	17.0