InP基MOEMS可调谐器件的梁变形模拟

• 作者: 何国荣 吴旭明 曹玉莲 王小东 王青 谭满清
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微光机电系统 可调谐 变形 梯度应力
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 280-283
• 页数: 4页
• 分类号: TN713
• 字数: 3267字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.02.027

摘要

InP基微光机电系统(MOEMS)可调谐器件的梁在实验中常出现弯曲变形的现象,其原因是在生长的时候,As原子进入InP梁,产生了内部梯度应力.使用有限元分析软件,建立了一种无须测量内部应力的模拟梁变形的方法.模拟了单臂梁和双臂梁的弯曲变形情况,理论与实验吻合.研究了As原子浓度和梁厚度对梁变形情况的影响,结果表明降低As原子浓度和增大梁厚度都有助于抑制梁的变形.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭满清	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	24	136	8.0	10.0
2	王青	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	83	1420	20.0	35.0
3	曹玉莲	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	15	78	5.0	8.0
4	吴旭明	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	9	50	3.0	6.0
5	王小东	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	8	38	4.0	6.0
6	何国荣	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	10	50	3.0	6.0