一种微电磁驱动的MEMS可调光衰减器

• 作者: 丁桂甫 戴旭涵 杨昊宇 赵小林 邵国成
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 光衰减器 表面微加工 电磁驱动
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 页码范围: 833-836
• 页数: 4页
• 分类号: TN715
• 字数: 1727字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2007.03.027

摘要

介绍了一种电磁驱动型MEMS可调光衰减器,该器件通过调节微挡光片在光路中的位置控制衰减量.以铜作为牺牲层,由电镀铁镍作为结构层的非硅表面微加工微技术被应用于挡光片的制作上,此项技术与硅的体加工技术相结合有望降低器件的加工成本.此外,还分析了该可调光衰减器的衰减机理,理论计算结果与实验数据基本吻合.实验测得样机性能为,插入损耗低于3 dB,动态范围大于40 dB,回波损耗大于40 dB.