一种新型的材料内应力测试方法——偏振透射差分法

• 作者: 赵玲慧 陈涌海
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 偏振透射差分 内应力 弹光效应 光弹性调制器
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 页码范围: 555-557
• 页数: 3页
• 分类号: TN247
• 字数: 1981字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.z1.142

摘要

采用一种全新的偏振透射差分法-PTD(polarization transmittance difference)法来测量半导体衬底材料的内应力分布.由于该方法使用了偏振调制技术,无需旋转样品或者偏振元件进行多次测量,使得测量过程变得简单、迅速,并准确给出整体材料的内应力二维分布图.此方法属于无损测试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵玲慧	中国科学院半导体研究所	6	51	4.0	6.0
2	陈涌海	中国科学院半导体研究所	16	40	4.0	5.0