ESD的物理失效分析及放电路径的研究

• 作者: 张之圣 邱亮
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电过力 静电放电 失效分析 失效机理 PN结退化
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 研究设计
• 页码范围: 6-9
• 页数: 4页
• 分类号: TN956
• 字数: 3015字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-7300.2007.03.003

摘要

本文将IC电过力失效机理划分为EOS和ESD分别进行阐述,EOS和ESD2种失效模式的相似使得对它们失效机理的判断变得困难,但借助SEM和FIB等先进的成像设备可以揭示2种失效机理的重要差别.本文先通过实例分析揭示了2种失效机理的差别,其中从理论角度突出对ESD失效机理和失效位置的研究;然后,借助仪器分析的结果对ESD失效案例的ESD放电路径做了合理推断,这种通过失效分析推断放电路径的方法对于改善ESD保护电路性能和提高ESD防护等级有着重要参考作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张之圣	天津大学电子信息工程学院	57	580	15.0	21.0
2	邱亮	天津大学电子信息工程学院	3	15	1.0	3.0