氧气吸附对碳纳米管电子特性的影响

• 作者: 叶甜春 吴军 陈大鹏 陈永胜 黄钦文
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 碳纳米管 吸附 氧化 气体传感器 化学气相淀积
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 页码范围: 1981-1984
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.1|TP212
• 字数: 2594字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2007.06.001

摘要

碳纳米管暴露在空气中会引起其电子特性的改变.使用微电子工艺在硅衬底上制备出生长碳纳米管的阵列图形,使用热CVD法实现碳纳米管在硅平面上的定点生长.研究了不同温度下空气氛围对多壁碳纳米管电子特性的影响.实验结果表明,空气中的水分子和氧气都会影响碳纳米管的电子特性.在室温环境中,水分子对碳纳米管电子特性的影响起主要作用,随着环境温度的升高,氧气对碳纳米管电学性质的变化起主要作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶甜春	中国科学院微电子研究所	200	911	14.0	18.0
2	陈大鹏	中国科学院微电子研究所	79	466	10.0	17.0
3	黄钦文	中国科学院微电子研究所	5	22	3.0	4.0
4	陈永胜	南开大学功能高分子材料教育部重点实验室	7	5	1.0	2.0
5	吴军	南开大学功能高分子材料教育部重点实验室	3	7	2.0	2.0