基于锁相环接口电路的高性能扭转谐振模态微悬臂梁传感器研究

• 作者: 于海涛 刘民 包涵菡 张志祥 李昕欣 王跃林
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 扭转谐振模态微悬臂梁 闭环接口电路 PLL
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 2234-2238
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 3387字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2007.10.021

摘要

扭转谐振模态微悬臂梁低能耗、高品质因数的特性,使它比传统的弯曲模态悬臂梁拥有更高的灵敏度和分辨率.将微传感器加工技术和生物检测技术相结合,利用扭转谐振模态微悬臂梁传感器对生物素和亲和素的特异性反应进行检测,结果传感器的灵敏度为0.9 pg/Hz,分辨可达到49 fg.本文还着重介绍了为谐振梁传感器设计的以锁相环(Phase-Locked Loop简称PLL)为核心的闭环接口电路,分析了悬臂梁和电路在闭环系统中的工作特性,并探讨了解决谐振式传感器在使用中常见的稳定性差、噪声干扰强等问题的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李昕欣	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器国家重点实验室	52	280	11.0	13.0
2	王跃林	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器国家重点实验室	84	623	14.0	18.0
3	张志祥	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器国家重点实验室	12	88	5.0	9.0
4	于海涛	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器国家重点实验室	5	52	4.0	5.0
5	包涵菡	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器国家重点实验室	1	19	1.0	1.0