MEMS微弹簧应用模式分析

• 作者: 李华 石庚辰
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 微弹簧 应用模式 弹性系数
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 传感器应用
• 页码范围: 2709-2712
• 页数: 4页
• 分类号: TH703.1
• 字数: 2167字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2007.12.035

摘要

根据微弹簧在微机电系统(MEMS)中使用模式的不同,将微弹簧分为三种应用模式进行分析.应用LIGA加工工艺,设计加工了一种"L型"MEMS微弹簧,应用宏观理论的能量法,推导出了"L型"微弹簧在三种应用模式下的弹性系数计算公式,并用有限元仿真计算验证了理论公式推导的正确性.利用Tytron250微小力拉伸实验机对"L型"微弹簧进行了拉伸实验,实验结果与公式计算结果吻合.在此基础上,分析总结了微弹簧在不同应用模式下的弹性系数变化规律.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李华	清华大学精密仪器与机械学系	14	138	6.0	11.0
3	石庚辰	北京理工大学宇航科学技术学院	54	627	15.0	23.0