基于MISFET结构的Pt-NiO混合敏感膜溶解二氧化碳传感器的研究

• 作者: 岳钊 权伍明 牛文成 罗翀 谢林宏
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 溶解二氧化碳传感器 Pt-NiO混合敏感膜 MISFET结构
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 1203-1206
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 2613字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2007.06.001

摘要

应用碳糊成膜方法,设计一种基于MISFET结构Pt-NiO混合敏感膜的新型溶解二氧化碳传感器.文中对器件进行了测量,给出了不同工作点下器件输出电压变化量△Vrs随着溶解二氧化碳浓度变化的响应曲线.实验结果表明,室温下基于MISFET结构的Pt-NiO混合敏感膜对溶解二氧化碳有很好的敏感性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	牛文成	南开大学信息技术科学学院微电子系	48	515	11.0	21.0
3	岳钊	南开大学信息技术科学学院微电子系	16	72	5.0	8.0
4	谢林宏	南开大学信息技术科学学院微电子系	2	12	2.0	2.0
5	权伍明	南开大学信息技术科学学院微电子系	2	12	2.0	2.0
6	罗翀	南开大学信息技术科学学院微电子系	6	25	3.0	5.0