含氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜的研究:(Ⅳ)氮掺杂对薄膜结构的影响

• 作者: 徐慧 李明君 王焕友 肖剑荣 邓超生
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 化学
• 关键词: 氟化类金刚石膜 键结构 氮掺杂
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 3004-3009
• 页数: 6页
• 分类号: O6
• 字数: 2993字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.05.090

摘要

不同条件下,在单晶硅基片上沉积了含氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜.原子力显微(AFM)形貌显示,掺N后,薄膜变得致密均匀.傅里叶变换吸收红外光谱(FTIR)表明,随着r(r=N2/[N2+CF4+CH4])的增大薄膜中C-H键的逐渐减少,C＝N和C≡N键含量逐渐增加.X射线光电子能谱(XPS)的Cls和Nls峰拟合结果发现,N掺入导致在薄膜中出现β-C3N4和a-CNx(x=1,2,3)成分.Roman散射谱的G峰向高频方向位移和峰值展宽等证明:随着r的增大,薄膜内sp2键态含量增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐慧	中南大学物理科学与技术学院	100	517	10.0	17.0
2	邓超生	中南大学物理科学与技术学院	7	81	6.0	7.0
3	肖剑荣	中南大学物理科学与技术学院	23	103	6.0	8.0
7	王焕友	中南大学材料科学与工程学院	10	84	6.0	9.0
8	李明君	中南大学物理科学与技术学院	6	47	4.0	6.0